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談?wù)劙步輦惙肿颖玫母黜?xiàng)特點(diǎn)

更新更新時(shí)間:2024-06-22 瀏覽次數(shù):1547

  安捷倫分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械泵,因此對(duì)平衡的要求很高,對(duì)固體異物非常脆弱,通常要在分子泵的入口處安裝金屬過濾網(wǎng)。分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。常規(guī)的分子泵使用軸承來確保葉片的高速旋轉(zhuǎn)。新型的分子泵采用磁懸浮構(gòu)造,使得葉片轉(zhuǎn)速不斷提高的同時(shí),更使分子泵適合超高真空系統(tǒng),也延長(zhǎng)了分子泵的使用壽命。
  安捷倫分子泵的各項(xiàng)特點(diǎn):
  1、清潔無油蒸汽返流
  干式操作:分子泵可以在無任何潤(rùn)滑油的情況下運(yùn)行,從而為被抽容器提供一個(gè)極為清潔的真空環(huán)境。
  消除碳?xì)浠衔铮含F(xiàn)代渦輪分子泵通過采用空氣軸承或磁懸浮軸承技術(shù),完q杜絕了油蒸汽返流的問題,確保了工作環(huán)境中不含有任何碳?xì)浠衔铩?/div>
  2、使用方便
  簡(jiǎn)單啟動(dòng):渦輪分子泵只需按電鈕即可開始工作,無需高真空或粗真空閥,可以從大氣壓力降z(mì)極限壓力。
  靈活安裝:渦輪分子泵的安裝方向不受限制,可在任意方向安裝,占用空間小,適用于安裝位置受限的地方。
  3、氣體輸送能力強(qiáng)
  輕氣體輸送:大多數(shù)渦輪分子泵對(duì)輕氣體(如氫、氦)的輸送能力很強(qiáng),特別適用于超高真空下的工藝操作。
  耐腐蝕設(shè)計(jì):有專門設(shè)計(jì)的渦輪分子泵用于抽除腐蝕性氣體,適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕等工藝操作。
  4、超高真空應(yīng)用的適用性
  高極限真空:一臺(tái)密封良好的渦輪分子泵,配以性能良好的前級(jí)泵,其極限真空可達(dá)到10^-10 Torr(即13.33 nPa)之間。
  滿抽速運(yùn)轉(zhuǎn):與低溫泵或離子泵不同,渦輪分子泵在超高真空條件下仍能滿抽速運(yùn)轉(zhuǎn),這使它在高分辨率質(zhì)譜儀等設(shè)備上得到廣泛應(yīng)用。
  5、高壓力下性能良好
  穩(wěn)定性強(qiáng):某些渦輪分子泵的入口壓力可在10^-3^至10^-10^Torr(即13.33 Pa至13.33μPa)之間運(yùn)行,在這個(gè)壓力范圍內(nèi),其他類型的泵會(huì)變得不穩(wěn)定。
  6、循環(huán)時(shí)間短
  快速啟動(dòng)停止:多數(shù)渦輪分子泵在較短時(shí)間內(nèi)(大約3分鐘)即可達(dá)到正常運(yùn)行速度,并且能立即關(guān)閉并暴露于大氣壓,這種快速循環(huán)特性在樣品輸入系統(tǒng)中非常有用。
  7、使用壽命長(zhǎng)
  抗重氣體負(fù)荷和閥門漏氣:在重氣體負(fù)荷和閥門漏氣的情況下,渦輪分子泵的使用時(shí)間要比其它泵更長(zhǎng),且不會(huì)因泵油污染真空室。

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